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深圳市諾林電子科技有限公司

Shenzhen Nuolin Electronic Technology Co.,ltd

888真人网站的性能介紹

作 者:諾林電子     關注:1401     發表時間:2017-09-30 09:49:15 來源:原創

888真人网站即電子束曝光機是集電子光學,電氣,機械,真空,計算機技術等於一體的複雜的半導體加工設備.

[ 888真人网站]即電子束曝光機是集電子光學,電氣,機械,真空,計算機技術等於一體的複雜的半導體加工設備.常見曝光機舉例:MYCRO美國製造的恩科優(N&Q)紫外曝光係統,適用於從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣範圍材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6係統成功地應用於半導體製造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電係統,凹凸或複晶設備和其他要求精細印製和精度對準的應用.



888真人网站是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線,將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到塗有感光物質的表麵上的設備.

[888真人网站]的分類:

曝光機一般根據操作的簡便性分為三種,手動,半自動,全自動

 

A 手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了;

 

B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧;

 

C 自動: 指的是從基板的上載下載,曝光時長和循環都是通過程序控製,自動光刻機主要是滿足工廠對於處理量的需要.



888真人网站性能指標:

光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸範圍,分辨率,對準精度,曝光方式,光源波長,光強均勻性,生產效率等.



分辨率是對曝光工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方式.曝光的分辨率受受光源衍射的限製,所以與光源,光刻係統,光刻膠和工藝等各方麵的限製.



對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度.曝光方式分為接觸接近式,投影式和直寫式.

曝光光源波長分為紫外,深紫外和極紫外區域,光源有汞燈,準分子激光器等.




[888真人网站]工作原理:

在計算機的控製下,利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光,受電子束輻照後的光刻膠,其物理化學性質發生變化,在一定的溶劑中形成良溶或非良溶區域,從而在抗蝕劑上形成精細圖形.



888真人网站曝光機的應用:

更廣範圍(UV,DUV,NUV)的紫外光波長選擇,出射光強範圍: 8mW/cm2~40mW/cm2

支持恒定光強或恒定功率模式.



廣泛應用於半導體,微電子,生物器件和納米科技領.常見曝光機舉例:MYCRO美國製造的恩科優(N&Q)紫外曝光係統,適用於從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣範圍材料的紫外或深紫外光曝光.NXQ400-6係統成功地應用於半導體製造,光電電子,平板,射頻微波,衍射光學,微機電係統,凹凸或複晶設備和其他要求精細印製和精度對準的應用.





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